在包括臨界蝕刻、沉積、腔室清洗、檢測、注入和退火在內的（de）半導體製造領域，Advanced Energy 的等離子功率傳輸、溫度測量（liàng）、溫度控製和晶圓（yuán）控製技術均處於市場領（lǐng）先地位。我們通過戰略合作（zuò）、持續創新和快速設計，為您的特定工藝要求提供解決方案。
Advanced Energy 的等離子電源輸送係統、交流/直（zhí）流和直流/直流前端電源（yuán）以（yǐ）及機架係統產品組合能夠以可控、高效的方式（shì）提供去除光刻膠所需的精（jīng）確功率。
隨著芯片設計日趨複（fù）雜，對精確控製離子注入的要求也越來越高。Advanced Energy功（gōng）率產品的設（shè）計專注於優化效率和功率密度，確保精確控製離子能量。
Advanced Energy 為電子束檢測係統提供穩定可靠的電源。通過嚴密控製實現高精度的缺陷識別，確保存儲（chǔ）器和邏輯器件符合嚴苛的規格要求。
Advanced Energy 的高精（jīng）度等離子體功（gōng）率傳輸係統可對蝕刻應用進行精確控製，從而實現高重複性和高產量。
AE 為半導體沉積提供全麵的產品組合，包括等（děng）離子電源輸送、溫度測量、溫度控（kòng）製和晶圓（yuán）控製解決方案。
