從各種安裝（zhuāng）方式和尺寸到全數字控製和動態等離（lí）子（zǐ）響應，我們的射頻發生（shēng）器是工藝創新（xīn）的源動（dòng）力。您可以從多（duō）種型號中（zhōng）靈活選擇，並使用獨特的配置和控製功能來滿足（zú）特定的應用要求。
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隨著半導體行業加速邁向新的（de）轉折點，eVerest™射頻發生器（qì）滿足了轉換等離子（zǐ）體控（kòng）製的（de）需求。其可配置（zhì）的多級脈衝可（kě）實現瞬時或（huò）用戶定義的轉換（huàn）定時。此外，具有寬頻（pín）率掃描（miáo）範圍的高速、高精度基於模型的（de）頻率調諧提供了（le）更大的過（guò）程穩定性（xìng）和控製。這些功能，加上更快的設置點響應、脈衝狀態開始（shǐ）時的受控超調，以及Advanced Energy™物聯網智能的複雜PowerInsight，為下一個技（jì）術節點的流（liú）程創新提供了（le）力量。
全射頻傳輸係統，多種匹配（pèi）解決方案選項，智能（néng）同步
可編程多級（jí）脈衝輪廓內的速度（dù）和控製
高速射（shè）頻輸出響應和脈衝狀態上升/下降時間
高達±10%的頻率調（diào）諧範圍
以dP/dZ穩定性設計
PowerInsight by Advanced Energy™物聯（lián）網生態係統
實現<2 nm沉積和蝕刻輪廓的新工藝開發
提供可靠的點火，RF穩定性（xìng）與電纜長度無關
無縫集（jí）成到任何等（děng）離子體係統中
增加處理空間並（bìng）拓寬（kuān）穩定性窗口（kǒu）
地（dì）址（zhǐ）：北京市（shì）海澱區（qū）上地信（xìn）息路1號2號樓1503
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