無（wú）塵室的等（děng）級分類及應用標準

依據美國聯（lián）邦政府頒布的標準（zhǔn）【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級（jí）、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級隻用塵（chén）粒數目（mù）來敘述，則可假設塵粒（lì）的尺寸是0.5um，無塵室等級（jí）應以特定塵粒尺寸的級（jí）數來（lái）表（biǎo）示。例（lì）如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大於75顆（kē）/立方（fāng）英尺），1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大於35顆/立（lì）方英尺）。

據查詢（xún）無塵室等級標準的版本較（jiào）多，於是小編就整理（lǐ）兩（liǎng）個較（jiào）常用（yòng）的劃分標準，分別是國際標準 ioses14644-1、中國標準 GB/T16292-1996，具體詳情請看下表：

空（kōng）氣潔淨度分級標準：ioses14644-1（國際標準）

空氣潔淨度分級標準：GB/T16292-1996（中國標準）

空氣由空調箱（xiāng）經風管與無塵車間內的空氣過濾器(HEPA)進入無塵室，並由無塵車間兩側隔間牆板或高架地板回風。氣流非直（zhí）線型運動（dòng）呈不（bú）規則之（zhī）亂流或渦流（liú）狀態。此型式適用（yòng）於無塵室等級為1,000-100,000級的。

優點：構造簡單、係統（tǒng）建（jiàn）造成本低，無塵室擴充比較容易，在某些特殊用途（tú）場所可並用無塵工作台，提高無塵車間等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子（zǐ）於室內空間飄浮不易排出，易汙染產品。另外若係統停止運轉（zhuǎn）再激活，欲達要求的（de）潔淨度，需耗時相當長一段時間。

層流式空氣氣流運動成均勻的直線形，空氣由覆蓋率100%的（de）過濾器（qì）進入室內，並由高架地（dì）板或（huò）兩側（cè）隔牆板回（huí）風，此型式適用（yòng）於無塵室等級需求較高的環境使用，一般其無（wú）塵室等級為Class 1~100。

其型式可分為二種：

?無塵車間水平層流式：水平（píng）式（shì）空氣自過濾（lǜ）器單方向吹出，由對邊牆壁的回風係統回（huí）風，塵埃隨風向排出室外，一般下流（liú）側汙染較嚴重。

優（yōu）點：構造簡單，運轉後短（duǎn）時間內即可變穩定。

缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴（kuò）充。

?無塵車間垂直層（céng）流式：房間天花板（bǎn）完全用ULPA過濾器覆蓋，空氣由（yóu）上往下吹，可獲得較高的潔淨度，在生產中或工作人員所產（chǎn）生（shēng）的塵埃可（kě）快速排出（chū）室外並（bìng）不會影響（xiǎng）其它工作區域。

優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易受作業狀態或作業人員所影響。

缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板的吊架（jià）相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

複合式是將亂流式及層流式予以複合並用，可提供局部超（chāo）潔淨空（kōng）氣。

• 無（wú）塵車間潔淨隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器（qì）將生產區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度（dù）等（děng）級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員的（de）工作區與產品和機器（qì）維（wéi）修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，超大規模集成（chéng）電路生產大都采用此種（zhǒng）型式。

  潔淨（jìng）隧道另有二項優點：彈性擴充容易、維修設備時可在維修區輕易執行。

  
  

• 無塵（chén）車間潔淨管（guǎn）道（dào）(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍並淨化處理（lǐ），將潔淨度（dù）等級提至100級以上。因產（chǎn）品和作業員及發塵（chén）環境相互隔離，少量的送風即可得到良好的潔淨度，可節省能源，不需人工的自動化生產線最適宜使用。藥品、食品及半導體均適用。

  
  

• 無塵車間並裝局部無塵室(Clean Spot)：將亂流無（wú）塵室內（nèi）的產品生產區的潔淨度等（děng）級（jí）提高為10~1000級以上，為生產用。  

Air Change：FFU的表麵積*風（fēng）速*FFU數（shù）量/無塵室體積

HEPA遮（zhē）蔽（bì）率：FFU的表麵積*FFU數（shù）量/無塵室麵積

氣流速度為：0.3-0.5m/s（60-100ft/min）

一般溫度控製範圍：T=（21±2）℃

一般濕度控製範圍：（45±5）%RH

在兩個無塵室間合理的設計壓力差應為10Pa，而在無塵室（shì）和（hé）未確認潔淨等（děng）級（jí）的區域應保持有15Pa的壓力差。當產生這些壓力差（chà）有實際困難時（shí），維持5Pa的最小壓力差（chà）是可以（yǐ）接受的。

A.不會因溫度變化與振動而（ér）發生（shēng）裂痕

B.不易產（chǎn）生微塵粒子，且很難附（fù）著粒子

C.吸濕性小

D.為了維持（chí）室內之濕度條件，熱絕緣性要高

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